中微半导体推出12英寸低压化学气相沉积设备

近日,中微半导体设备(上海)股份有限公司推出自主研发的12英寸低压化学气相沉积(LPCVD)设备Preforma Uniflex™ CW。

Preforma Uniflex™ CW可灵活配置多达五个双反应台反应腔(十个反应台),每个反应腔可以同时加工两片晶圆,在保证较低的生产成本和化学品消耗的同时,实现更高的生产效率。

Preforma Uniflex™ CW配备了完全拥有自主知识产权的优化混气方案及加热台,具有优秀的薄膜均一性、填充能力和工艺调节灵活性,对于弯曲度较大的晶圆,它也具备良好的工艺处理能力。其阶梯覆盖率和填充能力,可以满足先进逻辑器件、DRAM和3D NAND中接触孔以及金属钨线的填充应用需求。

关于中微半导体:

中微半导体设备(上海)股份有限公司(证券简称“中微公司”,证券代码“688012”)是一家以中国为基地、面向全球的微观加工高端设备公司,为集成电路和泛半导体行业提供极具竞争力的高端设备和高品质的服务。

中微半导体推出12英寸低压化学气相沉积设备
图源:中微半导体官网

中微开发的等离子体刻蚀设备和化学薄膜设备是制造各种微观器件的关键设备,可加工微米级和纳米级的各种器件。这些微观器件是现代数码产业的基础,它们正在改变人类的生产方式和生活方式。

中微总部位于上海,聚焦亚洲,并为全球的客户提供技术和设备的解决方案。作为制造和创新的中心,中国和亚洲具有得天独厚的优势和高速成长的市场,而这使中微有无限广阔的发展前景。

本文转载并注明其他来源的稿件,是本着为读者传递更多信息的目的,并不意味赞同其观点或证实其内容的真实性。如有疑问,请联系695036288@qq.com。

(0)
IC创客的头像IC创客管理员
上一篇 2023-05-15 15:49
下一篇 2023-05-15 16:03

相关推荐

  • 北京智慧能源研究院碳化硅外延片招标

    恒招标有限公司受北京智慧能源研究院 委托,根据《中华人民共和国政府采购法》等有关规定,现对北京智慧能源研究院2023年第三批货物竞争性谈判采购项目(第二次)进行其他招标,欢迎合格的供应商前来投标。 项目名称:北京智慧能源研究院2023年第三批货物竞争性谈判采购项目(第二次) 项目编号:TH2023-BJZHY-HT03 项目联系方式: 项目联系人:刘倩、岳一…

    2023-06-19
    00
  • 上海华虹宏力半导体制造有限公司三厂冷冻机升级改造项目招标公告

    上海华虹宏力半导体制造有限公司三厂冷冻机升级改造项目招标公告(招标编号:0613-236022191721)项目所在地区:上海市一、招标条件本上海华虹宏力半导体制造有限公司三厂冷冻机升级改造项目己由项目审批/核准/备案机关批准,项目资金来源为其他资金/,招标人为上海华虹宏力半导体制造有限公司。本项目己具备招标条件,现招标方式为公开招标。二、项目概况和招标范围…

    2023-04-23
    00
  • 海南大学三亚研究院半导体平台第三批设备及备件采购项目公开招标公告

    项目概况 半导体平台第三批设备及备件采购项目 招标项目的潜在投标人应在三亚市吉阳区迎宾路天际大厦11楼1103B获取招标文件,并于2023年11月23日 15点30分(北京时间)前递交投标文件。  一、项目基本情况 项目编号:HFGC20232376 项目名称:半导体平台第三批设备及备件采购项目 预算金额:960.496500 万元(人民币) 最高…

    2023-11-03
    00
  • 华东师范大学低震动无液氦磁体恒温器项目

    华东师范大学低震动无液氦磁体恒温器项目 招标项目的潜在投标人应在上海市虹口区四平路200号盛泰国际大厦606室获取招标文件,并于2023年07月03日 09点30分(北京时间)前递交投标文件。一、项目基本情况 项目编号:0773-2341GNSHHWGK1540 项目名称:华东师范大学低震动无液氦磁体恒温器项目 预算金额:220.0000000 万元(人民币…

    2023-06-14
    00
  • 半自动探针台公开招标公告

    半自动探针台 招标项目的潜在投标人应在华采招标集团有限公司(北京市丰台区广安路9号国投财富广场6号楼1601室)获取招标文件,并于2023年12月04日 14点00分(北京时间)前递交投标文件。一、项目基本情况 项目编号:HCZB-2023-ZB1588 项目名称:半自动探针台 预算金额:260.000000 万元(人民币) 采购需求: 采购一套半自动探针台…

    2023-11-14
    00

发表回复

登录后才能评论