2023.10.26-27 IWAPS 2023 第七届国际先进光刻技术研讨会

近年来,集成电路产业已经成为世界各国越来越重视的战略性产业,尤其在中国,集成电路产业受到了前所未有的关注,并在政策和资本的推动下获得了蓬勃发展。基于这样的形势,国际先进光刻技术研讨会(International Workshop on Advanced Patterning Solutions, IWAPS)应运而生。IWAPS为来自国内外半导体工业界、学术界的资深技术专家和优秀研究人员等提供了一个技术交流平台,参会者可以就材料、设备、工艺、测量、计算光刻和设计优化等主题分享各自的研究成果,探讨图形化解决方案,研讨即将面临的技术挑战。

自2017年以来,IWAPS已经在全国各地成功举办六届。会议投稿、会议报告与参会人数逐年增加,行业反响热烈,业已成为国内高端光刻技术领域的重要会议。此外,IWAPS自2020年起已被IEEE收录,接收论文将被送检IEEE Xplore与EI。

2023.10.26-27  IWAPS 2023 第七届国际先进光刻技术研讨会

时间地点:2023年10月26-27日  浙江丽水

本次会议由中国集成电路创新联盟,中国光学学会;中国科学院微电子研究所承办;南京诚芯集成电路技术研究院协办。IEEE电气和电子工程师协会提供支持。

任何疑问,您可以直接致信iwaps@ime.ac.cn进行咨询,亦可拨打电话:010-82995816

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