路维光电:已实现180nm及以上制程节点半导体掩膜版产品量产

路维光电近期在接受调研时表示,目前公司已实现180nm及以上制程节点半导体掩膜版产品的量产,可应用于MOSFET、IGBT、MEMS、SAW、先进封装等半导体制造领域;同时,公司通过自主研发,储备了150nm制程节点半导体掩膜版制造技术,可以覆盖第三代半导体相关产品。

路维光电:已实现180nm及以上制程节点半导体掩膜版产品量产

路维光电专注于各类掩膜产品的研发生产,在中国掩膜版行业拥有多年的技术与经验,是国内唯一一家可覆盖G2.5-G11全世代产线的本土掩膜版企业。

路维光电自成立至今,一直致力于各类掩膜版的研发、生产和销售,产品主要用于平板显示、半导体、触控和电路板等行业,是下游微电子制造过程中转移图形的基准和蓝本。经过多年技术积累和自主创新,公司具有G2.5-G11全世代掩膜版生产线,可配套平板显示厂商所有世代产线;实现了180nm及以上制程节点半导体掩膜版量产,并掌握了150nm制程节点半导体掩版制造关键核心技术,满足国内先进半导体芯片封装和半导体器件等应用需求。

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