华工科技推出国产化的高端晶圆激光切割设备

7月11日,据“中国光谷”微信公众号消息,华工科技近期制造出了我国首台核心部件100%国产化的高端晶圆激光切割设备。

华工科技推出国产化的高端晶圆激光切割设备
华工激光半导体产品总监黄伟介绍,半导体晶圆属于硬脆材料,在一个12英寸的晶圆上有数千颗甚至数万颗芯片,晶圆切割和芯片分离无论采取机械或激光方式,都会因物质接触和高速运动而产生热影响和崩边,从而影响芯片性能,因此,控制热影响的扩散范围和崩边尺寸是关键。
而机械切割的热影响和崩边宽度约20微米,传统激光在10微米左右;此外,切割线宽的减少,意味着晶圆能做到更高的集成度,从而使得半导体制造更经济、更有效率。
自去年以来,黄伟团队对半导体晶圆切割技术,展开微纳米级激光加工的迭代升级、攻坚突破,“最忙时团队20多人两班倒轮流做测试实验和产品优化,设备24小时不停。”
经过一年努力,华工科技制的半导体晶圆切割技术成功实现升级,热影响降为0,崩边尺寸降至5微米以内,切割线宽可做到10微米以内。成为了我国首台核心部件100%国产化的高端晶圆激光切割设备,在半导体激光设备领域攻克多项中国第一。
按照生产一代、研发一代、储备一代的理念,华工激光正在研发具备行业领先水平的第三代半导体晶圆激光改质切割设备,计划今年7月推出新产品,同时也正在开发我国自主知识产权的第三代半导体晶圆激光退火设备。
资料显示,华工科技成立于1999年,拥有20000多平米的研发、中试基地,在海外设有3个研发中心,与华中科技大学共建有激光加工国家工程研究中心、国家防伪工程研究中心、敏感陶瓷国家重点实验室。通过产学研用纽带,华工科技牵头制定国家“863”计划项目、国家科技支撑计划项目、十三五国家重大科技计划专项等50余项,牵头制定中国激光行业首个国际标准,获得国家科技进步奖3项。

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