晶盛机电年产25万片6英寸、5万片8英寸碳化硅衬底片项目正式签约

据晶盛机电官微,11月4日,晶盛机电举行“年产25万片6英寸、5万片8英寸碳化硅衬底片项目”签约暨启动仪式,旨在加快半导体材料端的关键核心技术攻关,实现国产化替代,这一举措标志着晶盛机电在半导体材料领域的技术实力和市场竞争力将进一步提升。

晶盛机电年产25万片6英寸、5万片8英寸碳化硅衬底片项目正式签约
晶盛机电年产25万片6英寸、5万片8英寸碳化硅衬底片项目正式签约

碳化硅衬底片作为半导体材料的重要组成部分,具有优异的性能和广阔的应用前景。晶盛机电公司自2017年开始碳化硅晶体生长设备和工艺的研发,相继成功开发6英寸、8英寸碳化硅晶体和衬底片,是国内为数不多能供应8英寸衬底片的企业。目前,晶盛机电公司已建设了6-8 英寸碳化硅晶体生长、切片、抛光中试线,6英寸衬底片已通过多家下游企业验证,正处于快速上量阶段,8英寸衬底片处于小批量试制阶段。

此次签约项目总投资21.2亿元,建成后,晶盛机电将利用自身的技术和资源优势,加快碳化硅衬底片的关键核心技术攻关和产业化,加速推进第三代半导体材料国产化进程。

晶盛机电年产25万片6英寸、5万片8英寸碳化硅衬底片项目正式签约
晶盛机电年产25万片6英寸、5万片8英寸碳化硅衬底片项目正式签约

启动仪式上,晶盛机电董事长曹建伟博士表示,此次碳化硅衬底片项目启动,是晶盛机电创新增长的重要方向。公司紧抓碳化硅产业的战略机遇期,创新、扩产、赶超,实现国产突围,助力半导体产业发展。

作为国内领先的半导体材料装备企业,晶盛机电始终围绕“先进材料、先进装备”的双引擎可持续发展战略,深化半导体产业链的上下游协同合作,向下游晶体材料深加工延伸,通过技术创新、产业升级,聚力解决国家核心材料自主供给,保障国家战略安全,为我国半导体材料产业的发展注入新的活力。

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