南大光电1.5亿元六氟化钨项目奠基,广泛用于半导体产业中

据南大微电子材料有限公司官方消息,日前,内蒙古乌兰察布市集宁区举行推进高质量发展重点项目(第一批)集中开工暨南大光电六氟化钨项目奠基仪式。

南大光电1.5亿元六氟化钨项目奠基,广泛用于半导体产业中

据悉,乌兰察布南大微电子材料有限公司年产500吨六氟化钨项目总投资1.5亿元,主要建设一座(六氟化钨厂房1层,局部二层)、一座六氟化钨仓库及配套控制室、配电室、化验室等,年产六氟化钨500吨。

六氟化钨,分子式为WF6,也称为氟化钨(VI)、氟化高钨,常温下外观为无色气体或浅黄色液体状,低温下为白色固体状,有毒性、有强刺激性、有腐蚀性。六氟化钨遇水会发生反应并分解,在潮湿空气中由于分解会冒烟,产物为氟化氢、三氧化钨。六氟化钨化学性质活泼,可溶于多种有机溶剂,可与绝大多数金属发生反应。六氟化钨可用来生产碳化钨,也可以应用在半导体产业中。

六氟化钨属于钨氟化物,在钨氟化物中,六氟化钨是唯一一种被工业化生产的品类。半导体是六氟化钨的重要下游市场,可以应用化学气相沉积(CVD)工艺来制备钨膜,也可以制备二硅化钨(WSi2)用于制造大规模集成电路用配线材料,还可以用作氟化剂、催化剂等。此外,六氟化钨可制造X射线发射电极、太阳能吸收器、导电浆糊等产品,用于太阳能产业中。

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