国林科技近期接受投资者调研时称，半导体专用臭氧清洗设备首台套已于2022年下半年交付于客户使用，公司陆续已送样客户包括半导体清洗设备、薄膜沉积设备头部企业及面板厂等，预计2023年内完成产品验证。
青岛国林科技集团股份有限公司（以下简称“国林科技”）成立于1994年，是集科、工、贸于一体的高新技术企业，是臭氧产生机理研究、臭氧设备的设计与制造、臭氧应用工程方案设计、安装、调试、运行及维护的专业化公司，拥有占地面积5万余平方米臭氧设备生产基地，是国内臭氧行业的领跑企业。国林科技（证券代码：300786.SZ）于2019年7月正式登陆深交所创业板挂牌交易。
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