捷佳伟创完全自主研发的电子级硅芯清洗设备下线

捷佳伟创官微消息,近日,捷佳伟创子公司常州捷佳创精密机械有限公司国内首台完全自主研发的电子级硅芯清洗设备成功下线,即将交付客户。

据悉,该设备是一款用于硅料端制程的硅芯的腐蚀清洗设备,用于清洗硅芯表面有机物、氧化物和金属离子,采用碱洗、酸洗、超声、机能水等工艺,产品可用于高纯光伏硅片和半导体硅片的生产制程,清洗后总表金属≤0.2ppbm。

捷佳伟创表示,公司已成为国内唯一一家达到电子级标准的硅芯硅料清洗设备研发生产厂商,目前公司已实现表金属0.5ppbw以上等级的电子级硅料批量出货,2024第一季度将推出0.1ppbw以下的产品。

长期以来,电子级硅芯硅料清洗设备市场份额都被外国厂商占有,捷佳伟创作为太阳能光伏电池设备行业领军企业及半导体设备制造商,坚持以研发制造一流专业设备,推动国内相关行业发展为己任。凭借雄厚的研发实力及近年来探索泛半导体行业装备开发经验,接连推出多款性能出众、引领行业的清洗设备。此次电子级硅芯硅料清洗设备研发的过程中,研发人员攻坚克难,突破了诸多关键技术,为设备的成功研发奠定了坚实的技术基础,并成为国内达到电子级标准的硅芯硅料清洗设备研发生产厂商。

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