上海微电子装备（集团）股份有限公司日前通过珠海天成先进半导体科技有限公司光刻机采购招标，公示招标项目编号0664-2340SUMECF85/06的高精度光刻机计划采购数量为1台，招标项目编号0664-2340SUMECF85/05计划采购光刻机数量为2台，招标项目编号0664-2340SUMECF85/07的亚微米光刻机采购数量为1台。
公开资料显示，上海微电子装备(集团)股份有限公司(简称SMEE)主要致力于半导体装备、泛半导体装备、高端智能装备的开发、设计、制造、销售及技术服务，是我国极少数具有光刻机整机集成研发能力的厂商，公司设备广泛应用于集成电路前道、先进封装、FPD面板、MEMS、LED、Power Devices等制造领域。
公开信息显示，珠海天成先进半导体科技有限公司（Natural Integration Advanced Semiconductor Technology Co.，Ltd.）成立于2023年4月，简称天成先进（NAST），位于珠海市高新技术产业开发区唐家湾主园区，规划占地面积150余亩。公司注册资本9.5亿元，规划投资超30亿元，是一家央企控股的大型高科技国有企业，股东还包括格力集团。
珠海天成先进半导体科技公司专注于晶圆级12英寸TSV立体集成领域，聚焦全球最先进的半导体互连技术，产品覆盖3D TSV立体集成、2.5D系统集成、3D-WLCSP以及Bumping等晶圆级先进封装制程，广泛应用于高算力处理器、高密度存算、5G通讯、云计算、无人驾驶、可穿戴智能装备等领域。
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